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實驗室凈化工程就是控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。實驗室凈化主要分為亂流式、層流式和復合式。
1、亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈工程室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔室等級1,000-100,000級。構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋過濾器后進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為水平層流式和垂直層流式。
水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
垂直層流式,房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。復合式,復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
3、實驗室凈化的主要方法有通風:實驗室經常由于實驗時間長,人員多和實驗過程中產生一些有害氣體,造成空氣污濁,對人體不利。為了防止實驗室工作人員吸入或咽入一些有毒的、可致病的或毒性不明的化學物質和有機氣體,實驗室中應有良好的通風,必要時應設空調。
4、實驗室凈化控制濕度和溫度:實驗室要求適宜的溫度和濕度。室內的小氣候,包括氣溫、濕度和氣流速度等,對在實驗室工作的人員和儀器設備有影響。夏季的適宜溫度應是18-28℃,冬季為16-20℃,濕度在30%(冬季)-70%(夏季)之間。除了特殊實驗室外,溫濕度對大多數理化實驗影響不大,但是天平室和精密儀器室應根據需要對溫濕度進行控制。實驗室凈化控制潔凈度:經常保持實驗室的清潔是非常重要的。室外大氣中的塵埃,借通風換氣過程會進入實驗室,實驗內含塵量過高,空氣不凈,不但影響檢測結果,而且,其微粒落在儀器設備的元件表面上,可能構成障礙,甚至造成短路或其他潛在危險。潔凈實驗室是要花銀子的,建議不是特殊需要可不進行潔凈實驗室設計,若有需要可以對大型精密儀器室、特殊實驗室進行設計,一般達到萬級凈化要求即可。若有多個潔凈實驗室,送排風系統應各自獨立設計,獨立使用。