《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志的Gold OA文章占比為：0.00%。
OA期刊被稱為開源期刊，又叫開放存取，簡稱OA(Open Access)。是指將學術信息資源放到互聯網上,任何人可以免費獲得,而不需考慮版權或注冊的限制。開放獲取包含“綠色OA（Green Open Access）”與“金色OA（Gold Open Access）”兩種形式。
OA主要通過兩種模式開放研究成果如期刊論文和圖書等。一種模式是通過OA方式將論文或圖書發表在出版機構平臺上，通常被稱作金色OA。另一種模式是將論文草稿的某一版本存儲在某一OA存儲庫中，通常被稱作綠色OA。
通過金色OA出版的內容一經出版即可面向公眾開放共享，而通過綠色OA方式存儲的論文草稿在很多情況下只能在自存檔設置的時滯期結束后才能閱讀。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》以工程：電子與電氣前沿研究為依托，推動新技術、新知識傳播，打造高水平學術交流陣地，促進學科進步。
該刊相關數據：
（1）中科院SCI期刊分區，大類學科：工程技術4區； 小類學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC(工程：電子與電氣)4區。
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
（3）CiteScore評價數據：
CiteScore 排名
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43% |
| 大類：Engineering 小類：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39% |
| 大類：Engineering 小類：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39% |
| 大類：Engineering 小類：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38% |
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37% |
| 大類：Engineering 小類：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36% |
