該刊一直由AVS Science and Technology Society出版社出版發行。它專注于工程技術-工程：電子與電氣領域，致力于發布該領域的前沿研究成果，推動相關新技術和新知識的傳播。
平均審稿周期為 。自創刊以來，它在工程技術-工程：電子與電氣領域一直具有很高的影響力，對投稿文章的質量把控非常嚴格。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志通訊方式為：。詳細征稿細則請查閱雜志社征稿要求。本站可提供SCI投稿輔導服務，SCI檢索，確保稿件信息安全保密，合乎學術規范，詳情請咨詢客服。
中科院分區大類學科：工程技術4區。
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| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
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中科院JCR分區：中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果，是衡量學術期刊影響力的一個重要指標，一般而言，發表在1區和2區的SCI論文，通常被認為是該學科領域的比較重要的成果。
