《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》是一本正規的學術期刊，具有較高的學術聲譽和影響力，被收錄于國際知名權威數據庫SCIE。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》是一本由AVS Science and Technology Society出版商出版的工程技術國際刊物，國際簡稱為J VAC SCI TECHNOL B，中文名稱真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學。出版周期為。刊號ISSN：2166-2746，E-ISSN：2166-2754，
如何判斷一本國際SCI期刊的正規性？
1.影響力指數：可以通過查看期刊的影響力指數來判斷其是否正規。影響力指數是評價期刊學術影響力的重要指標，包括影響因子、被引頻次、H指數等。正規的SCI期刊通常都有較高的影響力指數，這意味著其發表的論文被其他學者引用的次數較多，學術影響力較大。
2.核實ISSN號：國際標準連續出版物編號（ISSN）是期刊的重要標識，可在國際ISSN中心官網或相關權威數據庫查詢。
3.期刊的出版商：知名、可靠的出版機構通常有嚴格的出版標準和流程。可了解出版機構的背景、聲譽，查看其出版的其他期刊情況，判斷是否為正規出版單位。
4.同行評議流程：了解期刊的同行評議流程是否透明、嚴謹。正規的SCI期刊會有明確的同行評審制度，并在其網站上提供審稿流程和標準的說明。
通過以上幾點，可以核實SCI期刊的正規性。作者在選擇期刊時，應多方面考察期刊的信息和背景，也可以考慮學術界的評價。只有綜合判斷，才能確保自己選擇了正規期刊。如有其他任何疑問，可咨詢在線客服。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》相關數據：
（2）中科院SCI期刊分區，大類學科：工程技術4區； 小類學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC(工程：電子與電氣)4區。
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
（3）CiteScore評價數據：
CiteScore 排名
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43% |
| 大類：Engineering 小類：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39% |
| 大類：Engineering 小類：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39% |
| 大類：Engineering 小類：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38% |
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37% |
| 大類：Engineering 小類：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36% |
