根據最新信息《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》期刊在JCR分區中的排名如下:
學科分類:ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
出版商:AVS Science and Technology Society以及收錄情況等信息也為其學術影響力提供了有力支持。
大類學科:工程技術
中科院:4區
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