《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志在工程：電子與電氣領域具有較高的引用率，其CiteScore和影響因子均表明了其在該領域的學術影響力。
引用率通常是指某篇學術論文或文獻被其他學術作品引用的頻率。計算引用率的基本方法是將特定文獻的引用次數除以可能引用該文獻的總次數，這個總次數可以是同一領域所有文獻的引用次數，也可以是某個數據庫中的文獻總數。
一般來說，引用率越高，表明該文獻、期刊在學術界的影響力和認可度越大。但需要注意的是，引用率并不是衡量學術質量的唯一標準，它可能受到多種因素的影響，如文獻發表時間、研究領域的大小、合作作者的數量等。
該刊CiteScore：2.7，被收錄于國際知名權威數據庫SCIE。
CiteScore 排名
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43% |
| 大類：Engineering 小類：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39% |
| 大類：Engineering 小類：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39% |
| 大類：Engineering 小類：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38% |
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37% |
| 大類：Engineering 小類：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36% |
CiteScore：是由Elsevier2016年發布的一個評價學術期刊質量的指標，該指標是指期刊發表的單篇文章平均被引用次數。CiteScore和影響因子的作用是一樣的，都是可以體現期刊質量的重要指標，給選刊的作者了解期刊水平提供幫助。
