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SCI的影響因子是衡量學術期刊學術影響力和價值的重要指標。影響因子反應了期刊中論文被引用的頻率，計算方式是某期刊前兩年內發表的論文在當年被引用總次數，以下是影響因子對科研人員和期刊本身的重要意義：

1.學術價值：被頻繁引用的論文通常意味著其研究具有較高的學術價值和創新性。
2.期刊評價：影響因子是評價學術期刊質量的重要標準之一，高影響因子的期刊通常學術地位較高。
3.科研晉升：在學術界，發表在影響因子高的期刊上的論文對作者職稱晉升有積極的影響。
4.科研資助：研究資助機構可能將期刊影響因子作為評估申請項目質量的依據之一。
5.期刊分區：SCI期刊根據影響因子進行分區，高影響因子的期刊通常被分在較高的分區，這關系到期刊的學術聲譽和學術地位。

需要注意的是，影響因子雖然有重要的意義，但并不是評價期刊的唯一標準。選擇期刊時還需要考慮期刊的質量、口碑、出版速度、覆蓋領域等多方面因素。

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》是一本由AVS Science and Technology Society出版商出版的工程技術國際刊物，國際簡稱為J VAC SCI TECHNOL B，中文名稱真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學。出版周期為平均審稿速度為 。

被收錄于國際知名權威數據庫SCIE。重點專注發布工程技術-工程：電子與電氣領域的新研究，旨在促進和傳播該領域相關的新技術和新知識。

相關數據統計：

（1）中科院SCI期刊分區

大類學科：工程技術4區； 小類學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC(工程：電子與電氣)4區。

（3）CiteScore評價數據：